6月22日，上交所官网显示，微导纳米科创板上市申请获得受理。公司拟募资5亿元，保荐机构为中信证券。

　　招股书申报稿显示，公司以原子层沉积(简称“ALD”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案。(朱翔)

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